-
走進杭氧
-
氣體與服務(wù)
-
新能源
-
設(shè)備與工程
-
新聞資訊
-
投資者關(guān)系
-
職業(yè)發(fā)展
走進杭氧
氣體與服務(wù)
新能源
設(shè)備與工程
新聞資訊
投資者關(guān)系
職業(yè)發(fā)展
據(jù)悉，該設(shè)備配套青島杭氧電子氣大宗氣體項目，為青島芯恩集成電路有限公司提供電子氣級別氮氣，純氮設(shè)備產(chǎn)品含氧量要求0.1ppm以下，再經(jīng)過后處理加工，供應(yīng)業(yè)主。本套電子氣項目有“爬坡”的特點，用戶氮氣需求逐漸增加，根據(jù)業(yè)主要求，純氮設(shè)備具有低負荷、大操作范圍的能力，并采用雙塔流程提升提取率，降低能耗，操作負荷范圍在38%~105%，目前設(shè)備運行在40%左右。此外，針對電子氣項目保供要求，做了更多可靠性的配置，后備系統(tǒng)在產(chǎn)品管路波動時可自行補氣，如遇到純氮設(shè)備跳車，甚至控制系統(tǒng)故障，停水?dāng)嚯姡髠湎到y(tǒng)仍能平穩(wěn)供氣，確保下游工藝的安全。
隨著純氮設(shè)備出氮，青島杭氧電子氣項目二階段設(shè)備全面投入使用。
掃碼關(guān)注公眾號
