電子特氣是半導體芯片制造不可或缺的電子化學材料，被譽為“電子工業的血液”，是產業鏈國產化的核心一環。受益于下游集成電路制造工廠產能擴張、制程技術節點微縮、3DNAND多層技術的發展，集成電路制造中進行刻蝕、沉積和清洗的步驟增加，對上述工藝中所需的電子氣體的純度和質量也提出了越來越高的要求，需要純度大于99.9999%（6N級），同時氣體的雜質含量低于1×10-7甚至ppt級別（10-12），技術壁壘極高。發展面向先進制程的電子特氣純化關鍵技術，實現國產替代自主可控具有重要意義。

那么，如何突破電子特氣技術難題？如何打通“研究-成果-產品-市場-產業”全鏈條轉化通道，加速結出產業碩果？解決之道是院企聯合研發、產學研同向發力。

去年12月，浙大衢州“兩院”與杭氧集團簽約共建“特種氣體聯合研發中心”，依托衢州研究院技術、人才、試驗等專業力量，發揮杭氧國家級科改示范企業功能及裝備制造、資本運作、政策等資源優勢，搭建技術研發、產業轉化孵化和人才培養的平臺，打造院企合作的標桿典范。

短短半年時間，雙方合作共建的聯合研發中心已經開展了富有成效的研發。“我們衢州研究院自主研發的特氣純化技術小試實驗已經調試完成，生產的產品純度穩定達6N，搭建了電子特氣第三方檢測平臺，并牽頭起草6N級檢測制定，逐步填補國內6N及以上檢測方法空白，推動電子特氣國產化。” 浙大衢州“兩院”電子化學品研究所陳俐吭研究員介紹。

杭氧集團具有百年歷史積淀，深低溫和分離技術達到國際先進水平，是中國氣體產業的開拓者和引領者。“只有開放合作，產業創新發展之路才能越走越寬廣。希望在與衢州研究院的緊密合作中，加快科技成果精準落地轉化，助力電子特氣國產化。” 杭氧集團特種氣體聯合研發中心相關負責人表示。

來源：浙江大學衢州研究院