電子特氣是半導(dǎo)體芯片制造不可或缺的電子化學(xué)材料，被譽(yù)為“電子工業(yè)的血液”，是產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化的核心一環(huán)。受益于下游集成電路制造工廠產(chǎn)能擴(kuò)張、制程技術(shù)節(jié)點(diǎn)微縮、3DNAND多層技術(shù)的發(fā)展，集成電路制造中進(jìn)行刻蝕、沉積和清洗的步驟增加，對(duì)上述工藝中所需的電子氣體的純度和質(zhì)量也提出了越來(lái)越高的要求，需要純度大于99.9999%（6N級(jí)），同時(shí)氣體的雜質(zhì)含量低于1×10-7甚至ppt級(jí)別（10-12），技術(shù)壁壘極高。發(fā)展面向先進(jìn)制程的電子特氣純化關(guān)鍵技術(shù)，實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代自主可控具有重要意義。

那么，如何突破電子特氣技術(shù)難題？如何打通“研究-成果-產(chǎn)品-市場(chǎng)-產(chǎn)業(yè)”全鏈條轉(zhuǎn)化通道，加速結(jié)出產(chǎn)業(yè)碩果？解決之道是院企聯(lián)合研發(fā)、產(chǎn)學(xué)研同向發(fā)力。

去年12月，浙大衢州“兩院”與杭氧集團(tuán)簽約共建“特種氣體聯(lián)合研發(fā)中心”，依托衢州研究院技術(shù)、人才、試驗(yàn)等專業(yè)力量，發(fā)揮杭氧國(guó)家級(jí)科改示范企業(yè)功能及裝備制造、資本運(yùn)作、政策等資源優(yōu)勢(shì)，搭建技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化孵化和人才培養(yǎng)的平臺(tái)，打造院企合作的標(biāo)桿典范。

短短半年時(shí)間，雙方合作共建的聯(lián)合研發(fā)中心已經(jīng)開展了富有成效的研發(fā)。“我們衢州研究院自主研發(fā)的特氣純化技術(shù)小試實(shí)驗(yàn)已經(jīng)調(diào)試完成，生產(chǎn)的產(chǎn)品純度穩(wěn)定達(dá)6N，搭建了電子特氣第三方檢測(cè)平臺(tái)，并牽頭起草6N級(jí)檢測(cè)制定，逐步填補(bǔ)國(guó)內(nèi)6N及以上檢測(cè)方法空白，推動(dòng)電子特氣國(guó)產(chǎn)化。” 浙大衢州“兩院”電子化學(xué)品研究所陳俐吭研究員介紹。

杭氧集團(tuán)具有百年歷史積淀，深低溫和分離技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，是中國(guó)氣體產(chǎn)業(yè)的開拓者和引領(lǐng)者。“只有開放合作，產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展之路才能越走越寬廣。希望在與衢州研究院的緊密合作中，加快科技成果精準(zhǔn)落地轉(zhuǎn)化，助力電子特氣國(guó)產(chǎn)化。” 杭氧集團(tuán)特種氣體聯(lián)合研發(fā)中心相關(guān)負(fù)責(zé)人表示。

來(lái)源：浙江大學(xué)衢州研究院